1100℃电动开启式三温区管式炉（8.5、11英寸石英炉管）

1000mm

·采用双层壳体结构，并带有风冷系统

·设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性）（图一、二）

·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）

·该炉可作为退火或扩散炉，最大可用于8”晶片放在对应石英舟中（图三）

·电动开启式设计，使得用户操作更加简便。（图四）

热偶：K型热偶    建议升温速率：≤10℃/min  

温度：1000℃ （1100℃＜1h）  电源：AC220，50Hz   最大功率:8KW

SiC棒（36根）

·8.5英寸或11英寸高纯石英炉管

·注意：石英炉管易碎，操作需谨慎

·为了获得更高的工作温度，可选用FeCrAl合金管，温度可达1200℃

·一对不锈钢真空密封法兰（铰链式），4个硅胶密封圈，可使炉管内真空度达到10^-3torr（采用机械泵抽真空）

·左端法兰：安装有不锈钢针阀，Φ6.35的进气口

·右端法兰：KF40真空泵接口Φ6.35铠装接口（用于热偶插入到炉管内，测量炉管内温度和进行温度校准）

·控温精度：±0.5℃

·定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括

·1根1200mm的K型铠装热偶

·一Omega温度校准器

·4'' ~ 8'' 晶片石英支架

·你可以考虑分子泵，真空度可达10-5Torr

2210 L x 770W x 1190 H mm

约500 kg

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

·多种真空系统可选

·可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

·可与手套箱系统联用，实现氧敏感性材料的烧结制备

·炉管内气压不可高于0.02MPa

·由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·石英管的长时间使用温度＜1100℃

·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）

·如何在MTI管炉上放置管堵和真空法兰

·为了在管式炉内获得准确的温度，在使用前需要校准温度，请点击这里了解如何使用