
    联系我们/ CONTRAT US
联系电话::15211186389
QQ:455366265
地址:长沙市岳麓区天马路科教新村5区三栋304(大学城办事处)
            型号:OTF-1200X-80-I-F3LV
产品概述:OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.
| 高温炉壳体 | 
							 · 采用双层壳体结构,并带有风冷系统 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 
								  | 
					
| 功率 | 
							 2.5 KW 
								  | 
					
| 电压 | 
							 AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 
								  | 
					
| 加热元件 | 
							 掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命) 
								  | 
					
| 最高工作温度 | 
							 1200℃ 
								  | 
					
| 连续工作温度 | 
							 1100℃ 
								  | 
					
| 最快升温速率 | 
							 ≤20 ℃ 
								  | 
					
| 炉管材质和尺寸 | 
							 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm 
								  | 
					
| 加热区长度 | 
							 400 mm 
								  | 
					
| 控温系统 | 
							 · PID30段程序化控温 
								  | 
					
| 控温精度 | 
							 +/- 1 ℃ 
								  | 
					
| 真空密封系统 | 
							 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min 
								  | 
					
| 真空泵 | 
							 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。 
								  | 
					
| 防腐型真空计 | 
							 · 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍) 
								  | 
					
| 混气系统 | 
							 · 三个浮子流量计 · 三路浮子量程分别为 · 10-100 cc/min. · 16-160 cc/min. · 25-250 cc/min 内部安装有一混气罐 
								  | 
					
| 尺寸 | 
							 · 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm 混气系统尺寸: 600x600x597 mm 
								  | 
					
| 尺寸 | 
							 · 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm 混气系统尺寸: 600x600x597 mm 
								  | 
					
| 净重 | 
							 约60kg 
								  | 
					
| 开门断电 | 
							
							 
								  | 
					
| 运输重量 | 
							 200 
								  | 
					
| 质保期 | 
							 一年质保期(不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件) 
								    
								  | 
					
| 使用注意事项 | 
							 · 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 · 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)  | 
					
下一篇:1200℃双温区开启式真空管式炉