900℃小型RTP炉--OTF-1200X-4-RTP （2019.9.27--科晶实验室审核）

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·快速升温，最高达50℃/s；快速降温，最大117℃/min。

·超大管径φ110mm。

·最高温度可达900℃。

·法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。

·开门断电。

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·工作温度：最高900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(长期)    

·最快升温速率：室温~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s

·最快降温速率：60℃/min (<200 mtorr)，117℃/min (在一个大气压下)                     

·法兰：KF-25D型不锈钢高真空法兰

·最慢降温速率10℃/min            

·加热区长度：190mm                   

·控温精度：+/-1℃(欧陆表型温控仪表可达0.1℃)            

·加热元件：8根红外灯管(每根1.5KW，图1、2、3)    

·热电偶：可插入式的铠装热电偶，进口K型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下

·最大功率：9KW(>60A 保险)       

·设备电源：AC220V/50HZ 单相 

·循环水流量:0.5 m3/h

·标配流量计量程范围：16-160 ml/min

·760（L）×330（W）×530（H） mm （法兰关闭）

·1200（L）×330（W）×530（H） mm （法兰打开）

·炉膛尺寸：Φ180x190

70Kg

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩 埚等不包含在内。

          2.因使用腐蚀性气体和 酸性气体造成的损害不在保修范围内。

专利名称：一种快速高温退火炉

专利编号：ZL-2011-2-0077168.4

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