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型号：OTF-1200X-PESDFG-50
产品概述：OTF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统，连接循环手套箱。此款设备中石英炉管与循环手套箱连接，可利用CVD方法，将样品处理后直接移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在实验室中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。
| 设备名称 |
双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 （2019.12.18—科晶实验室审核） |
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| 产品提示 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品特点 |
▪ 真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接； ▪ 两个炉体在一个滑轨上，可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果。 |
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| 加热炉参数 |
▪ 连续工作温度：1100℃ ▪ 两个炉体都可设置30段升降温程序 ▪ 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命） ▪ 电源：AC220，50Hz 最大功率：3KW
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| 手套箱参数 |
▪ 带有除水系统：保持水含量< 2 ppm ▪ 真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接
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| 射频电源 |
▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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| 真空系统 |
▪ 采用TRP-12的双旋真空泵； ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ▪ 真空度可达10-2Torr。
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| 供气系统 |
▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； ▪ 流量范围:
▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
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| 产品尺寸 |
▪ 炉体尺寸：1600mm(L) ´430mm (W) ´ 500mm(H) ▪ 手套箱尺寸：780mm(L)´ 700mm(W) ´ 650mm(H)
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| 认证 |
▪ CE认证 ▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证 ▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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| 承诺 |
▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件） |
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