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型号：OTF-1200X-50S-PE
产品概述：OTF-1200X-50S-PE是一款小型等离子体气相沉积管式炉系统（PECVD）。该设备配有等离子射频电源，开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及一个直联式双旋机械泵。此套设备模型可组合为不同类型的PECVD系统，且设备性价较为理想。
| 设备名称 |
小型PECVD管式炉系统——OTF-1200X-50S-PE |
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| 产品提示 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品特点 |
▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度； ▪ 整套设备尺寸小巧； ▪ 可通过工艺调节来控制化学计量； ▪ 可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力。 |
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| 加热炉参数 |
▪ 最高温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃； ▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃； ▪ 输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ▪ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命。
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| 射频电源 |
▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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| 真空系统 |
▪ 采用TRP-12的双旋真空泵； ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ▪ 真空度可达10-2Torr。
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| 产品尺寸和重量 |
▪ 尺寸：1500mm L´600mm W´1200mm H ▪ 净重：75 kg |
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| 认证 |
▪ CE认证 ▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证 ▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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| 承诺 |
▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件） |
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