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产品概述：
这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
混气系统3路浮子GSL-3F
三种不同量程的浮子流量计，控制精度4%
·A：10 - 100mL/min
·B：16 - 160mL/min
·C：25 - 250mL/min
·-0.1-0.15 Mpa
·在混气系统右侧安装三个气体进口
·两通道气体流入气体混合罐，另一个通道气体不通过气体混合管（请参考说明书，也可另行定制，详情请咨询销售）
·两个出口（可连接科晶管式炉）安装在混气系统的左侧（一路混合气体和一路单独的气体）
·12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头
·采用ss304不锈钢
·安装在混气系统的右侧
外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H
CVD或者PECVD 液相气体发生器
约75 Kg
一年保修，终身技术支持。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
名称
浮子流量计
机械压力表（混气罐）
接头和气管
真空针阀
安装带刹车的转向轮
可选
净重
质保期
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
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